机组特点与技术指标
*真空获得为复合分子泵和直联旋片泵，机组真空度在分子泵启动到400Hz后优于8×10-4Pa；30分钟以内优于8×10-5Pa；极限真空8×10-7Pa。
*机组为可移动台式小车结构，能够满足不同位置排气的需求。
*机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了排气时间，有效提高了工作效率。
机组常规配置
·复合分子泵1台
·直联旋片泵1台
·角阀1套
·高真空复合真空计1套（包括CF35电离规、KF16热偶规）
·直径150mm×高200mm的真空室1套
·带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套