真空度指气体的稀薄程度,历史上沿用压力来表示。也可以用粒子数密度、分子平均自由程、碰撞频率、单分子层覆盖时间等来描述真空度。真空度的单位为压力单位帕斯卡Pa。低真空时,有时用“真空度百分数”表示,即(p0-p)/p0×100%,式中p0——大气压力。
真空区域划分主要依据真空状态下气体的物理特征、真空获得设备和真空测量仪表的工作范围等。
国家标准(GB3163-82)的划分是:
低真空:105~102Pa
中真空:102~10-1Pa
高真空:10-1~10-5Pa
超高真空:〈10-5Pa
真空理论工作者推荐的划分:
粗真空: 103~105Pa
低真空:10-1~103Pa
高真空:10-6~10-1Pa
超高真空:10-12~10-6Pa